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Edwards將展示先進真空技術(shù)

  • 時間:2012-03-12 14:29:22

[導(dǎo)讀]21ic訊 Edwards公司將參加于3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉辦的中國國際半導(dǎo)體技術(shù)大會(SEMICON China 2012)。總部位于英國的Edwards為歷史悠久的全球品牌,其真空技術(shù)有助于減少污染、能耗和運營成本,涉及行..

21ic訊 Edwards公司將參加于3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉辦的中國國際半導(dǎo)體技術(shù)大會(SEMICON China 2012)。

總部位于英國的Edwards為歷史悠久的全球品牌,其真空技術(shù)有助于減少污染、能耗和運營成本,涉及行業(yè)廣泛,包括半導(dǎo)體、LED、太陽能,以及平板顯示器(flat-panel display,F(xiàn)PD)領(lǐng)域。

Edwards的真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)適用于所有要求減低環(huán)境影響的應(yīng)用,能夠緩減一系列環(huán)境威脅,包括來自于半導(dǎo)體生產(chǎn)的酸性和腐蝕性氣體,并且實現(xiàn)總體碳排放為負(fù)值。Edwards 通過在一系列創(chuàng)新且經(jīng)過驗證的真空泵和系統(tǒng)中采用清潔的“綠色”科技,使得客戶能擁有相對較低的設(shè)備投資和維護成本。

Edwards亞太區(qū)總裁Neil Lavender-Jones表示:“我們非常榮幸地參加本年度SEMICON China展會。中國的半導(dǎo)體行業(yè)正在穩(wěn)步發(fā)展,并且完全堅定地實施尖端技術(shù)。Edwards的真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)在這一發(fā)展過程中起著至關(guān)重要的作用。我們在展會上所展出的真空泵產(chǎn)品,充分體現(xiàn)了公司在生產(chǎn)極其可靠且具有高成本效益的真空解決方案方面所積累的數(shù)十年經(jīng)驗。”

Edwards展出的真空泵產(chǎn)品包括STP-iXR1606和STP-iXA3306磁懸浮泵兩個新型號。集成式STP-iXR1606渦輪分子泵設(shè)計在性能和易用性方面均樹立新的行業(yè)基準(zhǔn)。該產(chǎn)品非常適合要求嚴(yán)苛的應(yīng)用,包括CIGS太陽能制造、PVD鍍膜,乃至低壓CVD。

此外,Edwards將展示新型Spectra-G 3000尾氣處理系統(tǒng),以及iXH645/610、XDS35和GXS250/2600真空泵,Spectra-G 3000系統(tǒng)是市場領(lǐng)先的環(huán)保解決方案,適用于LED制造。隨著LED成為中國十二五規(guī)劃的核心焦點,Spectra-G 3000和iXH645能夠為LED制造商提供實際價值。