微機電系統(tǒng) 是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米級。MEMS技術采用了半導體技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術和材料，因此從制造技術本身來講，MEMS中基本的制造技術是成熟的。但MEMS更側重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。微機電系統(tǒng)的優(yōu)點是：體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩(wěn)定等。
