1、微機械陀螺儀的工作原理

MEMS陀螺儀利用科里奧利力(Coriolis force，又稱為科氏力)現(xiàn)象。科氏力是對旋轉(zhuǎn)體系中進行直線運動的質(zhì)點由于慣性相對于旋轉(zhuǎn)體系產(chǎn)生的直線運動的偏移的一種描述。

科 里奧利力來自于物體運動所具有的慣性，在旋轉(zhuǎn)體系中進行直線運動的質(zhì)點，由于慣性的作用，有沿著原有運動方向繼續(xù)運動的趨勢，但是由于體系本身是旋轉(zhuǎn)的， 在經(jīng)歷了一段時間的運動之后，體系中質(zhì)點的位置會有所變化，而它原有的運動趨勢的方向，如果以旋轉(zhuǎn)體系的視角去觀察，就會發(fā)生一定程度的偏離。

2、微機械陀螺儀的性能參數(shù)

MEMS陀螺儀的重要參數(shù)包括：分辨率(Resolution)、零角速度輸出(零位輸出)、靈敏度(Sensitivity)和測量范圍。這些參數(shù)是評判MEMS陀螺儀性能好壞的重要標志，同時也決定陀螺儀的應用環(huán)境。

分 辨率是指陀螺儀能檢測的最小角速度，該參數(shù)與零角速度輸出其實是由陀螺儀的白噪聲決定。這三個參數(shù)主要說明了該陀螺儀的內(nèi)部性能和抗干擾能力。對使用者而 言，靈敏度更具有實際的選擇意義。測量范圍是指陀螺儀能夠測量的最大角速度。不同的應用場合對陀螺儀的各種性能指標有不同的要求。

3、微機械陀螺儀的結(jié)構(gòu)

MEMS陀螺儀的設計和工作原理可能各種各樣，但是主要都采用振動部件傳感角速度的概念。絕大多數(shù)的MEMS陀螺儀依賴于相互正交的振動和轉(zhuǎn)動引起的交變科里奧利力。圖3所示為振動陀螺的動力學系統(tǒng)的簡單結(jié)構(gòu)示意圖。

該系統(tǒng)為2-D的振動系統(tǒng)，有兩個正交的振動模態(tài)。其中一個振動模態(tài)為質(zhì)量塊在x方向振動，振動頻率為 。另一個振動模態(tài)為質(zhì)量塊在y方向振動，振動頻率為 。 與 的值比較接近。

工作時，驅(qū)動質(zhì)量塊使之在x軸上以接近于 的頻率 (驅(qū)動頻率)振動，如果振動系統(tǒng)以角速度 繞Z軸轉(zhuǎn)動，則會產(chǎn)生一個沿Y軸方向的科里奧利力，從而使得質(zhì)量塊在Y軸方向上產(chǎn)生頻率為的 振動響應，通過測試Y軸方向的運動就能完成角速度 的檢測。

一般的MEMS陀螺儀由梳齒結(jié)構(gòu)的驅(qū)動部分(圖4)和電容板形狀的傳感部分(圖5)組成，基本結(jié)構(gòu)如圖6所示。對于各種應用要求有各種不同的具體結(jié)構(gòu)設計。