物聯(lián)網(wǎng)、消費(fèi)電子與汽車智能化,MEMS慣性傳感器正經(jīng)歷從分立式向高度集成化、微型化的深刻變革。三軸加速度計(jì)與陀螺儀作為運(yùn)動(dòng)感知的核心器件,其集成封裝與抗振性能直接決定終端設(shè)備的可靠性、精度與使用壽命。本文從技術(shù)挑戰(zhàn)、設(shè)計(jì)方法與工程實(shí)踐三個(gè)維度,系統(tǒng)闡述MEMS慣性傳感器的小型化實(shí)現(xiàn)路徑。
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