用三維光學測量系統(tǒng)進行測量時,由于周圍環(huán)境、人、設備等各方面的影響,測量數(shù)據(jù)中常常會摻入噪聲。針對體外飛點和離群成簇噪聲分別采取基于K_近鄰搜索的平均距離去噪算法和改進的基于近鄰點距傳播的去噪算法進行處理,取得了較好的去噪效果。針對直接測量或者多次測量拼接獲取的點云存在“粗糙毛刺”和點云多層重疊的狀況,采用基于MLS的擬合平面投影光順算法
業(yè)內(nèi)領先的測量儀器供應商愛德萬測試集團于2012年11月14日推出全新的多視覺測量掃描電子顯微鏡(MVM-SEM: Multi-Vision Metrology Scanning Electron Microscope):晶圓掃描電鏡E3310,利用愛德萬測試專有的電子束
【圖1】用非接觸三維測量儀“ATOS Triple Scan”測量時的情形。照射測量對象的條紋狀輔助光的光源采用藍色LED,可輕松測量具有光澤面及黑色表面的物體。(點擊放大) 【圖2】使用Triple Scan方式測量的效果。此
目前,哈量集團三維測量傳感器的研發(fā)取得了階段性的進展,在測量范圍、測量精度等方面均達到國外同類產(chǎn)品的技術水平。 該傳感器設計被為三維掃描式測頭,主要用在哈量集團生產(chǎn)的齒輪測量中心上。哈量集團針對齒