近日,有媒體報(bào)道稱,日本供應(yīng)商信越化學(xué)已經(jīng)向中國(guó)大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠,且已通知更小規(guī)模晶圓廠停止供貨KrF光刻膠。這意味著,國(guó)內(nèi)多家晶圓廠將會(huì)面臨KrF光刻膠大缺貨的處境。
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