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重慶成功研制液晶面板和觸摸屏等光刻裝備
16日從中國科學院重慶綠色智能技術研究院獲悉，該院成功研制了用于微電子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模組”及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備的“5KW、8KW、10KW汞燈替代UVLED光源模組”系列產(chǎn)品。
16日從中國科學院重慶綠色智能技術研究院獲悉，該院成功研制了用于微電子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模組”及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備的“5KW、8KW、10KW汞燈替代UVLED光源模組”系列產(chǎn)品。
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