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生產(chǎn)光罩（光掩模版）的設(shè)備老化，缺貨問題愈發(fā)突出
光掩?；媸且环N硬面光掩模材料，即光掩膜基版，它是當(dāng)前及未來微細(xì)加工光掩膜制作的主流感光材料(相當(dāng)于照相用的感光膠卷)。它是在平整的、高光潔度的玻璃基版上通過直流磁控濺射(SP)沉積上氮化鉻-氮氧化鉻薄膜而形成鉻膜基版，再在其上涂敷一層光致抗蝕劑(又稱光刻膠)或電子束抗蝕劑制成勻膠鉻版。光掩模基版有以下幾種叫法：勻膠鉻版，光掩?；妗⒖瞻坠庹?、拽英文的話就叫做Maskblanks)
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