對(duì)內(nèi)徑尺寸的測(cè)量,國(guó)內(nèi)目前測(cè)量的方法多以接觸式測(cè)量為主。但接觸式測(cè)量由于測(cè)量工具磨損、人為因素等原因造成測(cè)量誤差較大,不能滿足快速、精確的內(nèi)徑尺寸檢測(cè)要求。本文采用光三角測(cè)量原理,結(jié)合半導(dǎo)
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