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多晶硅薄膜的制備方法設(shè)計(jì)
1 前言多晶硅薄膜材料同時(shí)具有單晶硅材料的高遷移率及非晶硅材料的可大面積、低成本制備的優(yōu)點(diǎn)。因此，對(duì)于多晶硅薄膜材料的研究越來(lái)越引起人們的關(guān)注，多晶硅薄膜的制備工
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