1 前言銅金屬化在高功率汽車應用領域的優(yōu)勢是具備通態(tài)低電阻,并且具有可重復箝位魯棒性。然而,從可靠性角度而言,來自厚Cu層的應力是主要關注的問題。傳統(tǒng)應力監(jiān)控方法是
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