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半導(dǎo)體先進制造設(shè)備發(fā)展趨勢與設(shè)備自主化狀況漫談
半導(dǎo)體已經(jīng)進入原子級加工水平，在這個精度上進行半導(dǎo)體器件制造，需要集合50多個學(xué)科的知識與技術(shù)。而且，加工精度只是一個維度，良率對半導(dǎo)體制造生死攸關(guān)，因此均勻性、穩(wěn)定性、重復(fù)性、可靠性和潔凈性都很重要，先進半導(dǎo)體加工環(huán)節(jié)超過1000個，哪個環(huán)節(jié)出了問題，都難以制造出符合產(chǎn)品性能與良率要求的芯片。
