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復(fù)享光學(xué)AR-Meta首次實現(xiàn)超構(gòu)透鏡全面光學(xué)量測分析
近日，上海市科委“優(yōu)秀技術(shù)帶頭人”計劃的多個項目完成專家評審。該計劃旨在選拔和培養(yǎng)一批進(jìn)入世界科技前沿的學(xué)術(shù)帶頭人和引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的技術(shù)帶頭人，促進(jìn)其建設(shè)高水平科研梯隊和創(chuàng)新團(tuán)隊，加快建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心。其中，由復(fù)享光學(xué)承擔(dān)的“超透鏡檢測分析設(shè)備的研制”項目通過專家組評審，順利結(jié)項。
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復(fù)享光學(xué)承擔(dān)的上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動計劃” - 0909
本次復(fù)享光學(xué)承擔(dān)的項目，屬于“科學(xué)儀器研制開發(fā)”專題項目。該項目基于共焦拉曼光譜，發(fā)展面向GAA-FET制程檢測的拉曼光譜技術(shù)，探索在GAA-FET制備過程中多層納米薄膜的厚度、應(yīng)力、界面起伏、橫向刻蝕和溝道載流子遷移率等關(guān)鍵參數(shù)的量測技術(shù)，形成一套具有重大產(chǎn)業(yè)應(yīng)用前景的專業(yè)高端拉曼光譜設(shè)備。
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