離子源用以獲得離子束的裝置。在各類離子源中,用得最多的是等離子體離子源,即用電場將離子從一團(tuán)等離子體中引出來。這類離子源的主要參數(shù)由等離子體的密度、溫度和引出系統(tǒng)的質(zhì)量決定。屬于這類離
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