壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、質量輕,不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發(fā)展,半導體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
微型化、集成化和智能化,是現代科技發(fā)展的一個重要趨勢。伴隨著微機電加工系統(MEMS )技術的發(fā)展,電子計算機已由當年的“龐然大物“ 演變成由一個個微小的電路集成芯片組成的便攜系統,甚至是一部微型的智能手機。