MEMS即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領域之一
在2014年,國務院發(fā)布的《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》中明確提出,要大力發(fā)展微機電系統(tǒng)(MEMS)等特色專用工藝生產(chǎn)線,增強芯片制造綜合能力;2012年國務院發(fā)布的《“十二五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》明確提出要推進微機電系統(tǒng)(MEMS)、智能傳感器、新型電力電子器件裝備等產(chǎn)業(yè)化;2011年工信部發(fā)布的《物聯(lián)網(wǎng)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》明確提出要重點支持智能傳感器、基于MEMS的傳感器等關鍵設備的研制。由此可見,MEMS技術是未來傳感器的發(fā)展方向的主導力量之一。