MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一
在2014年,國(guó)務(wù)院發(fā)布的《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》中明確提出,要大力發(fā)展微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)等特色專(zhuān)用工藝生產(chǎn)線(xiàn),增強(qiáng)芯片制造綜合能力;2012年國(guó)務(wù)院發(fā)布的《“十二五”國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》明確提出要推進(jìn)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、智能傳感器、新型電力電子器件裝備等產(chǎn)業(yè)化;2011年工信部發(fā)布的《物聯(lián)網(wǎng)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》明確提出要重點(diǎn)支持智能傳感器、基于MEMS的傳感器等關(guān)鍵設(shè)備的研制。由此可見(jiàn),MEMS技術(shù)是未來(lái)傳感器的發(fā)展方向的主導(dǎo)力量之一。