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極紫外光刻膠

我要報錯

  • 國家科技重大專項極紫外光刻膠項目通過驗收

    與會專家對項目取得的研發(fā)成果給予了充分肯定，指出開展極紫外光刻膠的研發(fā)具有戰(zhàn)略眼光，經(jīng)過項目組成員幾年的努力，圓滿地完成了研發(fā)任務，達到了項目任務書中規(guī)定的指標;建立了一支在高檔光刻膠領域的研發(fā)隊伍，為我國的半導體集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了人才支持。