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七星流量計金屬密封MFC加“大流量”了
氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，大量應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。金屬密封大流量氣體質(zhì)量流量控制器，在CVD、PVD、清洗機等設(shè)備上起著關(guān)鍵作用，但它的技術(shù)壁壘高、開發(fā)難度大，導(dǎo)致長期依賴進口。
氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，大量應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。金屬密封大流量氣體質(zhì)量流量控制器，在CVD、PVD、清洗機等設(shè)備上起著關(guān)鍵作用，但它的技術(shù)壁壘高、開發(fā)難度大，導(dǎo)致長期依賴進口。
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