氣壓傳感器適用于檢測大氣壓強的儀器,最初人們是通過用柱的高度求出相對真空的大氣壓的,隨著技術(shù)發(fā)展和革新,如今高精度的氣壓傳感器一般是利用MEMS技術(shù)在單晶硅片上加工出真空腔體和惠斯登電橋,惠斯登電橋橋臂兩端的輸出電壓與施加的壓力成正比,經(jīng)過溫度補償和校準(zhǔn)后具有體積小、精度高、響應(yīng)快等特點。
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