在半導(dǎo)體制造的精密鏈條中,測(cè)試探針卡(Probe Card)猶如一座無形的橋梁,連接著待測(cè)芯片與測(cè)試系統(tǒng),其性能直接決定了芯片良率檢測(cè)的準(zhǔn)確性與生產(chǎn)效率。從5納米先進(jìn)制程到第三代半導(dǎo)體材料,從消費(fèi)電子芯片到航天級(jí)器件,探針卡技術(shù)始終是半導(dǎo)體質(zhì)量把控的核心環(huán)節(jié)。本文將從技術(shù)原理、設(shè)計(jì)挑戰(zhàn)、創(chuàng)新趨勢(shì)三個(gè)維度,揭開這一精密藝術(shù)的神秘面紗。