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電容式MEMS麥克風(fēng)讀出電路設(shè)計(jì)
1 引言與傳統(tǒng)的駐極體電容式麥克風(fēng)相比，電容式MEMS麥克風(fēng)具有以下優(yōu)勢(shì):1)性能穩(wěn)定，溫度系數(shù)低，受濕度和機(jī)械振動(dòng)的影響小;2)成本低廉;3)體積小巧，電容式MEMS麥克風(fēng)的背極板和振膜僅有最小的駐極體電容式麥克風(fēng)的1
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