MEMS是什么？具體有什么用？

MEMS的全稱(chēng)是Micro- Electro Mechanical System，簡(jiǎn)稱(chēng)為微機(jī)電系統(tǒng)，是在芯片上將微機(jī)械與微電路包括集微型傳感器、執(zhí)行器、機(jī)械結(jié)構(gòu)、電源能源、信號(hào)處理、控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等集成一體的微米/納米級(jí)系統(tǒng)。通俗的說(shuō)，MEMS工藝是通過(guò)微型傳統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)的部件，采用半導(dǎo)體加工技術(shù)把微型機(jī)械系統(tǒng)與集成電路固定在硅晶圓上，接著按照應(yīng)用場(chǎng)景的變化采用特殊定制的封裝形式，最后經(jīng)過(guò)切割組裝形成硅基換能器。