硬烘培是在掩模工藝中的第二個熱處理操作。它的作用實質上和軟烘培是一樣的，通過溶液的蒸發(fā)來固化光刻膠。然而，對于硬烘培，其唯一的目標是使光刻膠和晶圓表面有良好的黏結，這個步驟有時稱為刻蝕前烘培。
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