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芯片制造關(guān)鍵，國產(chǎn)高能離子注入機(jī)成功實(shí)現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速
6月30日消息 新華社報道，中國電子科技集團(tuán)宣布，由該集團(tuán)旗下電科裝備自主研制的高能離子注入機(jī)成功實(shí)現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速，性能達(dá)到國際先進(jìn)水平。獲悉，離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造
6月30日消息 新華社報道，中國電子科技集團(tuán)宣布，由該集團(tuán)旗下電科裝備自主研制的高能離子注入機(jī)成功實(shí)現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速，性能達(dá)到國際先進(jìn)水平。獲悉，離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造
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