摘要:離子滲氮工藝對爐體內壓強的控制要求比較高,本文設計了一種基于L298N芯片驅動直流電動機控制的氣體流量控制器,可用于控制反應爐的抽氣氣體流量,提高了爐體壓強控制精度,降低了生產成本。
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