采用微機電系統(tǒng) (MEMS) 的慣性測量單元 (IMU) ,其定義就是一種系統(tǒng)級封裝芯片 (SiP) 。 其中包含一個加速儀機械感測組件、一個陀螺儀機械感測組件,還有一個能把加速和角速度轉(zhuǎn)換成可讀取格式的電子電路系統(tǒng)(也就是所謂的「腦部」)。 MEMS慣性測量單元已經(jīng)發(fā)展了幾十年,已應(yīng)用于部分利基市場。 不過一直要到MEMS技術(shù)達到一定成熟度,能支持低成本小型裝置,這類慣性測量單元廣泛建置在各種應(yīng)用的情況才得以大幅增加。