在先進制造領域,超表面激光并行加工技術憑借其超分辨加工能力和多焦點并行處理優(yōu)勢,成為微納結構制造的核心手段。然而,加工過程中熱累積效應、材料非線性響應及光場動態(tài)干擾等因素,導致實際加工軌跡與理論設計存在顯著偏差。為此,結合工藝參數(shù)閉環(huán)優(yōu)化與路徑規(guī)劃算法的軌跡精度控制技術,成為突破加工極限的關鍵。
在精密制造領域,超表面激光加工技術憑借其亞波長級結構加工能力,已成為微納光學、量子器件等領域的核心工藝。然而,傳統(tǒng)單焦點加工效率低、熱效應累積等問題,制約了其產(chǎn)業(yè)化進程。近年來,多焦點并行控制與工藝參數(shù)閉環(huán)優(yōu)化的路徑規(guī)劃算法,為超表面激光加工系統(tǒng)提供了突破性解決方案。