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超表面激光并行加工系統(tǒng)：工藝參數(shù)閉環(huán)優(yōu)化與路徑規(guī)劃算法的軌跡精度控制
在先進(jìn)制造領(lǐng)域，超表面激光并行加工技術(shù)憑借其超分辨加工能力和多焦點(diǎn)并行處理優(yōu)勢(shì)，成為微納結(jié)構(gòu)制造的核心手段。然而，加工過程中熱累積效應(yīng)、材料非線性響應(yīng)及光場(chǎng)動(dòng)態(tài)干擾等因素，導(dǎo)致實(shí)際加工軌跡與理論設(shè)計(jì)存在顯著偏差。為此，結(jié)合工藝參數(shù)閉環(huán)優(yōu)化與路徑規(guī)劃算法的軌跡精度控制技術(shù)，成為突破加工極限的關(guān)鍵。
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超表面激光加工系統(tǒng)：多焦點(diǎn)并行控制與工藝參數(shù)閉環(huán)優(yōu)化的路徑規(guī)劃算法
在精密制造領(lǐng)域，超表面激光加工技術(shù)憑借其亞波長級(jí)結(jié)構(gòu)加工能力，已成為微納光學(xué)、量子器件等領(lǐng)域的核心工藝。然而，傳統(tǒng)單焦點(diǎn)加工效率低、熱效應(yīng)累積等問題，制約了其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。近年來，多焦點(diǎn)并行控制與工藝參數(shù)閉環(huán)優(yōu)化的路徑規(guī)劃算法，為超表面激光加工系統(tǒng)提供了突破性解決方案。
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