據業(yè)內消息,近日美國一家商業(yè)精密制造公司Zyvex表示制出了亞納米分辨率光刻系統(tǒng)ZyvexLitho1,這個系統(tǒng)沒有采用EUV光刻技術,但是卻能產出只有0.7nm線寬的芯片,是目前最高制造精度。
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