EUV光刻工藝除了需要EUV光刻機(jī)之外,也需要配套的EUV光刻膠,目前這一市場(chǎng)也主要被日本廠商壟斷,現(xiàn)在三星與韓國(guó)半導(dǎo)體廠商?hào)|進(jìn)合作開(kāi)發(fā)成功EUV光刻膠,已經(jīng)通過(guò)驗(yàn)證。
北京時(shí)間8日消息,日本周四批準(zhǔn)對(duì)韓國(guó)出口EUV光刻膠,這是自7月以來(lái)日本首次批準(zhǔn)對(duì)韓出口高科技材料。 日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省大臣世耕弘成在新聞發(fā)布會(huì)上表示,日本通常不會(huì)每次宣布批準(zhǔn)出口,這一次這樣做,是因?yàn)轫n