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目前最高制造精度，美Zyvex產(chǎn)出0.7nm線寬芯片
據(jù)業(yè)內(nèi)消息，近日美國一家商業(yè)精密制造公司Zyvex表示制出了亞納米分辨率光刻系統(tǒng)ZyvexLitho1，這個(gè)系統(tǒng)沒有采用EUV光刻技術(shù)，但是卻能產(chǎn)出只有0.7nm線寬的芯片，是目前最高制造精度。
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