2018年MEMS傳感器及執(zhí)行器的銷售額預(yù)計將達(dá)到127億美元,同比增長10%,維持了近年來的增長態(tài)勢。2017年同比增長18%,2016年同比增長15%。
意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics,簡稱ST)推出汽車級六軸慣性傳感器ASM330LHH,為先進(jìn)的車載導(dǎo)航和信息服務(wù)系統(tǒng)提供超高分辨率運動跟蹤功能。
Mens傳感器小科普:mens傳感器即微機(jī)電系統(tǒng) 是微電路和微機(jī)械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米級。MEMS技術(shù)采用了半導(dǎo)體技術(shù)中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術(shù)和材料,因此從制造技術(shù)本身來講,MEMS中基本的制造技術(shù)是成熟的。但MEMS更側(cè)重于超精密機(jī)械加工,并要涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。微機(jī)電系統(tǒng)的優(yōu)點是:體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩(wěn)定等。