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KLA-Tencor 宣布推出新型光罩檢測(cè)系統(tǒng)
KLA-Tencor 公司(納斯達(dá)克股票代碼：KLAC)針對(duì) 10 納米及以下的掩膜技術(shù)推出了三款先進(jìn)的光罩檢測(cè)系統(tǒng)，Teron 640、Teron SL655 和光罩決策中心 (RDC)。
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