17億美元購買荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備!高端EUV光刻機(jī)何時(shí)到貨?
3月7日,中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司從從荷蘭進(jìn)口的一臺大型光刻機(jī)順利通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進(jìn)入廠區(qū)。根據(jù)中芯國際近期發(fā)布的公告,其已經(jīng)花費(fèi)17億美元分別向泛林團(tuán)體、應(yīng)用材料、以及東京電子購買半導(dǎo)體設(shè)備。
其中,向泛林團(tuán)體發(fā)出的購買單總金額約6億美元;應(yīng)用材料購買單的總金額為5.43億美元,東京電子購買單總金額應(yīng)用材料購買單的總代價(jià)為5.43億美元。
據(jù)悉,這臺機(jī)器主要用于企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴(kuò)容。內(nèi)部人士認(rèn)為,中芯國際生產(chǎn)線擴(kuò)容后全年預(yù)計(jì)可為企業(yè)增加10%左右的營收。
從中芯國際的表態(tài)來看,他們持續(xù)采購設(shè)備的目的就是“繼續(xù)擴(kuò)大產(chǎn)能”,目前中芯國際急迫的產(chǎn)能除了8英寸之外就是14nm這樣的先進(jìn)工藝。根據(jù)中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松的說法,14nm(包含改進(jìn)型的12nm工藝)月產(chǎn)能將在今年3月達(dá)到4K,7月達(dá)到9K,12月達(dá)到15K。中芯國際的14nm產(chǎn)能在15K晶圓/月之后應(yīng)該不會(huì)繼續(xù)提升了,還有更新的工藝。除了14nm及改進(jìn)型的12nm工藝之外,中芯國際的N+1、N+2代工藝也會(huì)陸續(xù)在今年底開始試產(chǎn),相當(dāng)于臺積電7nm低功耗、7nm高性能工藝級別,未來一兩年也會(huì)是產(chǎn)能建設(shè)的重點(diǎn)。
方正證券分析師認(rèn)為,光刻機(jī)陸續(xù)搬入, 下半年收入增長值得期待。光刻機(jī)搬入廠區(qū)后,預(yù)計(jì)大約5個(gè)月后開始貢獻(xiàn)營收。我們判斷本次搬入的機(jī)臺將在大約5個(gè)月后投入生產(chǎn)(實(shí)際投入生產(chǎn)時(shí)間根據(jù)裝機(jī)進(jìn)度而定),擴(kuò)產(chǎn)完成后深圳廠區(qū)8寸產(chǎn)能有望達(dá)到60k wpm(4Q19 財(cái)報(bào)中為55k wpm),屆時(shí)將為中芯國際深圳廠區(qū)增加約10%的營收。分析師認(rèn)為半導(dǎo)體行業(yè)已處于上行周期,中芯國際2020年將重啟增長,同時(shí)先進(jìn)制程研發(fā)進(jìn)展順利。
目前國內(nèi)重大晶圓制造廠主要有中芯國際、華虹半導(dǎo)體、長江儲存、合肥長鑫。中芯國際是我國第一大晶圓制造廠,2019年3Q實(shí)現(xiàn)799百萬美元營業(yè)收入,在全球位居第5位。據(jù)官網(wǎng)介紹,中芯國際集成電路制造有限公司及其控股子公司是世界領(lǐng)先的集成電路晶圓代工企業(yè)之一,也是中國內(nèi)地技術(shù)最先進(jìn)、配套最完善、規(guī)模最大、跨國經(jīng)營的集成電路制造企業(yè)集團(tuán),提供0.35微米到14納米不同技術(shù)節(jié)點(diǎn)的晶圓代工與技術(shù)服務(wù)。
中芯國際總部位于上海,擁有全球化的制造和服務(wù)基地。在上海建有一座300mm晶圓廠和一座200mm晶圓廠,以及一座控股的300mm先進(jìn)制程晶圓廠在建設(shè)中;在北京建有一座300mm晶圓廠和一座控股的300mm先進(jìn)制程晶圓廠;在天津和深圳各建有一座200mm晶圓廠;在江陰有一座控股的300mm凸塊加工合資廠。中芯國際還在美國、歐洲、日本和中國臺灣設(shè)立營銷辦事處、提供客戶服務(wù),同時(shí)在中國香港設(shè)立了代表處。
中芯國際是世界領(lǐng)先的集成電路芯片代工企業(yè)之一,屬于集成電路制造企業(yè),要確保全年365天*24小時(shí)工廠不間斷生產(chǎn)。目前,中芯國際已經(jīng)實(shí)現(xiàn)90%以上的復(fù)工率,各條生產(chǎn)線、研發(fā)線實(shí)現(xiàn)100%運(yùn)行,產(chǎn)能預(yù)計(jì)于一季度實(shí)現(xiàn)滿載。春節(jié)期間,生產(chǎn)線上的工作人員采取四班二輪的輪崗制度繼續(xù)生產(chǎn),研發(fā)部門采取各級值班制度,輔助部門維持部分后勤保安和餐廳廠商在崗,保證了廠研發(fā)與運(yùn)營的持續(xù)進(jìn)行。
中芯國際四季度也向市場交出了一份相對不錯(cuò)的答卷。作為14納米工藝量產(chǎn)后的首份財(cái)報(bào),其可圈可點(diǎn)之處不單單只體現(xiàn)在一點(diǎn)上。根據(jù)中芯國際2月14日發(fā)布的四季度財(cái)報(bào),本季度的營收達(dá)到8.39億美元,同環(huán)比均有增長。同時(shí),由于產(chǎn)能有所提高,毛利同比增長了48.7%,毛利率上升6.8個(gè)百分點(diǎn)。
根據(jù)財(cái)報(bào),在接下來的一段時(shí)間內(nèi),中芯國際將持續(xù)推動(dòng)14nm產(chǎn)能和訂單的增加,這次的FinFET14納米作為第一代產(chǎn)品成效初顯,營收占比達(dá)到1%,在后續(xù)會(huì)推出第二代。
2000年,張汝京在上海創(chuàng)立集成電路芯片代工企業(yè)中芯國際,大約有300多名半導(dǎo)體工程師隨其北上,其中不少是他在德州儀器和世大時(shí)的舊部。在坐穩(wěn)內(nèi)地代工老大哥的位置后,2017年年底,中芯挖來了梁孟松,他的加入,被業(yè)界認(rèn)為“對中國半導(dǎo)體行業(yè)具有劃時(shí)代意義”。
梁孟松其人,在臺積電任職時(shí)期個(gè)人參與發(fā)明的專利半導(dǎo)體技術(shù)就有181件,且全是最重要先進(jìn)工藝的技術(shù)研發(fā)。出走到三星后,更是帶領(lǐng)三星晶圓代工直接從28nm制程升級到14nm,還領(lǐng)先臺積電半年實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。到中芯后,梁孟松手腳大開,在迅速提升中芯28nm芯片良品率的同時(shí),還主導(dǎo)從荷蘭買來了最先進(jìn)的光刻機(jī),將14nm芯片良品率瞬間提升至95%。
另外,眾人關(guān)心的是,2018年5月,中芯國際曾向荷蘭阿斯麥爾(ASML)訂購了一臺最新型的EUV光刻機(jī),價(jià)值高達(dá)1.5億美元。在全球光刻機(jī)生產(chǎn)廠商中,荷蘭的ASML(阿斯麥)是唯一一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠商。EUV光刻機(jī)原計(jì)劃在2019年初交付。不過,由于美國方面阻擾,這項(xiàng)交易至今仍未完成。
那么,光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備,為世界上最尖端的技術(shù)之一,目前只有少量國家掌握。此外,光刻機(jī)的價(jià)格非常昂貴,一臺高端的光刻機(jī)甚至可以賣到6億元左右,光刻機(jī)是半導(dǎo)體行業(yè)之母。
目前市場上提供量產(chǎn)商用的光刻機(jī)廠商有三家:ASML、尼康(Nikon)和佳能(Canon)。 根據(jù)2007年的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),在中高端光刻機(jī)市場,ASML占據(jù)大約60%的市場份額。而最高端市場(例如沉浸式光刻機(jī)),ASML大約目前占據(jù)80%的市場份額。荷蘭的ASML(阿斯麥)是一家總部設(shè)在荷蘭艾恩德霍芬(Veldhoven)的全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一,向全球復(fù)雜集成電路生產(chǎn)企業(yè)提供領(lǐng)先的綜合性關(guān)鍵設(shè)備。ASML的股票分別在阿姆斯特丹及紐約上市。
中芯國際為什么非得買荷蘭阿斯麥公司的EUV光刻機(jī)呢?因?yàn)樵谶M(jìn)入7nm節(jié)點(diǎn)之后,光刻機(jī)也需要升級到EUV光刻機(jī),目前僅有荷蘭ASML公司能造,該公司CEO表示EUV光刻機(jī)非常復(fù)雜,沒有可能被復(fù)制,全球只有ASML能生產(chǎn)。
日前韓媒報(bào)道稱,ASML公司正積極投資研發(fā)下一代EUV光刻機(jī),與現(xiàn)有的光刻機(jī)相比,二代EUV光刻機(jī)最大的變化就是High NA(高數(shù)值孔徑)透鏡,通過提升透鏡規(guī)格使得新一代光刻機(jī)的微縮分辨率、套準(zhǔn)精度兩大光刻機(jī)核心指標(biāo)提升70%,達(dá)到業(yè)界對幾何式芯片微縮的要求。