你想過(guò)未來(lái)手機(jī)屏幕如紙一樣輕薄，還可以卷曲起來(lái)嗎？這個(gè)想法已經(jīng)在生活中現(xiàn)實(shí)了。

可卷曲如紙一樣輕薄的各類終端屏幕主要選材是OLED（有機(jī)發(fā)光二極管），OLED生產(chǎn)過(guò)程最重要的一環(huán)就是“蒸”，工藝難度極高。

真空蒸鍍機(jī)就是制作OLED的核心設(shè)備，它被日本 Canon Tokki 公司壟斷，真空蒸鍍機(jī)的年產(chǎn)量預(yù)測(cè)在幾臺(tái)到十幾臺(tái)之間。（目前我國(guó)還沒(méi)有生產(chǎn)蒸鍍機(jī)的企業(yè)）

▲OLED面板蒸鍍?cè)O(shè)備

OLED的生產(chǎn)難度非常之大，其核心技術(shù)在于上游的精密制造，而精密制造需要精密制造的設(shè)備，但是這些設(shè)備的產(chǎn)能卻是有限的。OLED最核心的蒸鍍?cè)O(shè)備控制在佳能旗下的蒸鍍機(jī)廠商Tokki手里，因此三星提前用訂單鎖定了Tokki的產(chǎn)能實(shí)行壟斷生產(chǎn)。

日本 Canon Tokki 公司僅有300多名員工，卻基本壟斷了全球真空蒸鍍機(jī)的供應(yīng)，每臺(tái)報(bào)價(jià)過(guò)億美元，仍然一機(jī)難求，排隊(duì)等貨成為常態(tài)。

全球生產(chǎn)蒸鍍?cè)O(shè)備廠商不止一家，但是 Canon Tokki 真空蒸鍍機(jī)量產(chǎn)穩(wěn)定，技術(shù)成熟的優(yōu)勢(shì)無(wú)人可比。單從技術(shù)上講，Canon Tokki的確處于OLED面板產(chǎn)業(yè)鏈的頂層。

蒸鍍是OLED制造工藝的關(guān)鍵，直接影響著OLED屏幕顯示，蒸鍍機(jī)的工作就是把OLED有機(jī)發(fā)光材料精準(zhǔn)、均勻、可控地蒸鍍到基板上。

OLED顯示面板中大量應(yīng)用的有機(jī)材料極易受到氧氣和水的影響，有機(jī)材料間也很容易造成污染，因此，面板的蒸鍍一般都是在真空環(huán)境下且相互獨(dú)立進(jìn)行。

通過(guò)電流加熱，電子束轟擊加熱和激光加熱等方法，使被蒸材料蒸發(fā)成原子或分子，它們即以較大的自由程作直線運(yùn)動(dòng)，碰撞基片表面而凝結(jié)，形成薄膜，這個(gè)過(guò)程就是真空蒸鍍。

通俗地說(shuō)，OLED屏幕每個(gè)像素都是蒸上去的，除了發(fā)光材料，金屬電極等也是這樣蒸上去的，實(shí)際操作非常復(fù)雜。

上圖是PMOLED的典型工藝流程，PMOLED也屬于OLED，但結(jié)構(gòu)比AMOLED簡(jiǎn)單，沒(méi)有TFT。

Canon Tokki 蒸鍍機(jī)能把有機(jī)發(fā)光材料蒸鍍到基板上的誤差控制在5微米內(nèi)，這是什么概念？1微米相當(dāng)于頭發(fā)直徑的1％，這精度再?zèng)]有公司能做到了。

潛心于一個(gè)領(lǐng)域20余年，讓Canon Tokki 擁有不少專利，比如，它很早就將機(jī)器視覺(jué)應(yīng)用在設(shè)備上。生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，對(duì)準(zhǔn)玻璃基板和用作像素模板的細(xì)金屬網(wǎng)難度很大，利用攝像頭追蹤，Canon Tokki 可將誤差范圍縮小到人體紅細(xì)胞大小。

▲全球知名OLED蒸鍍?cè)O(shè)備企業(yè)

想要生產(chǎn)OLED面板，Canon Tokki 的真空蒸鍍機(jī)無(wú)異于一張入場(chǎng)券。為了從三星口中搶奪蘋果iPhone的OLED屏幕訂單，LG近期斥資逾兩億美金終于從訂單大量堆積的Canon TOKKI“搶”到兩臺(tái)蒸鍍機(jī)，預(yù)計(jì)于今年底和明年初各交付一臺(tái)，將能夠給LG帶來(lái)每月3萬(wàn)片第六代OLED面板的產(chǎn)能。

除Canon TLKKI之外，還有大量日本企業(yè)在OLED生產(chǎn)鏈條中扮演著舉足輕重的角色，比如OLED生產(chǎn)必須的蒸發(fā)掩膜大多由Dai日本印刷公司生產(chǎn)，日本電氣玻璃公司制造的玻璃基板，日本出光興產(chǎn)的OLED發(fā)光材料等。

據(jù)說(shuō)京東方6代柔性O(shè)LED生產(chǎn)線能夠提前量產(chǎn)的重要前提就是，拿到了Canon Tokki的真空蒸鍍機(jī)。

中國(guó)平板顯示全球第一，但大而不強(qiáng)。我國(guó)OLED企業(yè)主要聚集在產(chǎn)業(yè)鏈中下游的面板和手機(jī)等顯示終端產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域，上游核心生產(chǎn)設(shè)備完全依靠進(jìn)口。

真空蒸鍍機(jī)等核心設(shè)備的缺失，反映出我國(guó)基礎(chǔ)研究、精密加工、自動(dòng)化控制等多領(lǐng)域的短板。國(guó)內(nèi)OLED大型生產(chǎn)線裝備雖仍一片空白，但OLED科研型蒸鍍?cè)O(shè)備已達(dá)國(guó)際水平，中試型生產(chǎn)裝備已成功研發(fā)。雖然距離擺脫‘真空’有點(diǎn)遠(yuǎn)，但好歹上路了。

不過(guò)，中國(guó)這塊確實(shí)得加油了，不然再出現(xiàn)什么技術(shù)限制等，依舊會(huì)讓很多企業(yè)，甚至整個(gè)行業(yè)陷入難堪的地步。

來(lái)源：瘋狂機(jī)械控