廈門(mén)大學(xué)與臺(tái)灣新竹交通大學(xué)的科研團(tuán)隊(duì)(郭浩中，吳挺竹，佘慶威)近期合作開(kāi)發(fā)了一種基于顯微成像系統(tǒng)的micro-LED表面亮度檢測(cè)系統(tǒng)，可以快速測(cè)量micro-LED陣列在工作時(shí)任意位置的絕對(duì)亮度值。

LED作為一種主動(dòng)的自發(fā)光裝置已經(jīng)存在了半個(gè)多世紀(jì)。由于其低功耗，低工作電壓，高照度，長(zhǎng)工作壽命和穩(wěn)定的性能，使其成為一種非常流行的應(yīng)用。隨著LED技術(shù)的發(fā)展和各種行業(yè)對(duì)微集成的不斷增長(zhǎng)的應(yīng)用需求，micro-LED陣列器件應(yīng)運(yùn)而生。通過(guò)進(jìn)一步減小LED芯片的尺寸，在毫米的范圍內(nèi)，可以制備數(shù)百或數(shù)千個(gè)micro-LED以形成micro-LED陣列。micro-LED在許多領(lǐng)域具有潛在的應(yīng)用，包括micro-LED顯示器，高速并行可見(jiàn)光通信，高壓照明芯片等。

在顯示領(lǐng)域，與LCD和OLED顯示技術(shù)相比，micro-LED顯示器具有發(fā)光效率高，亮度高，對(duì)比度高，響應(yīng)時(shí)間短的優(yōu)點(diǎn)。但由于散熱，老化等問(wèn)題，導(dǎo)致顯示器成像缺陷，影響其成像質(zhì)量，因此顯示器的缺陷檢測(cè)是必要的。但目前的檢測(cè)測(cè)量仍保持在宏觀水平，不能用于精確測(cè)量微LED陣列，而且用于評(píng)估m(xù)icro-LED陣列亮度的方法集中在總亮度的測(cè)量上，未能快速檢測(cè)微LED陣列中的壞像素。因此尋找一種快速、精確的方法來(lái)檢查micro-LED的表面亮度是非常有必要的。