【賽迪網(wǎng)訊】微系統(tǒng)（MEMS）橫跨集成電路和傳感器兩大領(lǐng)域，代表著國(guó)家尖端科技和核 心基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展水平。在國(guó)家相繼出臺(tái)的《物聯(lián)網(wǎng)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》、《電子信息制造業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》、《集成電路產(chǎn)業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》、 《“十二五”國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》中，新型傳感器、微系統(tǒng)（MEMS）、智能傳感器的產(chǎn)業(yè)化被列入到核心關(guān)鍵技術(shù)發(fā)展路線圖，得到國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策的 大力扶持，因而也被各地廣泛關(guān)注。

中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)正處于從科研成果向產(chǎn)品化轉(zhuǎn)變的關(guān)鍵時(shí)期，應(yīng)該遵循MEMS的發(fā)展規(guī)律，堅(jiān)持工藝先行、長(zhǎng)期投入，著力建設(shè)開(kāi)放式的MEMS工藝平臺(tái)，做好產(chǎn)業(yè)發(fā)展的各項(xiàng)保障。

由于MEMS相對(duì)于其他產(chǎn)業(yè)周期長(zhǎng)、難度大，政府營(yíng)造良性的產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境，必須遵循 MEMS發(fā)展的客觀規(guī)律。研究MEMS的發(fā)展歷程，每一代新產(chǎn)品從概念到應(yīng)用，都要經(jīng)過(guò)提出理論、發(fā)明新工藝、研制新器件、批量生產(chǎn)的過(guò)程。隨著90年代 的全球MEMS商業(yè)化浪潮興起，以企業(yè)為主體的MEMS研發(fā)、生產(chǎn)、應(yīng)用體系在國(guó)外已經(jīng)發(fā)展成熟，但在中國(guó)還處于艱難的形成階段。中國(guó)發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)， 應(yīng)優(yōu)先搭建公共服務(wù)平臺(tái)，走工藝和設(shè)計(jì)并行的道路，長(zhǎng)期進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化投入。以美國(guó)為例，1962年Kulite公司首次研制出硅微壓力傳感器，使用硅膜、壓 敏電阻和體硅腐蝕，成為MEMS微傳感器和MEMS體加工（Bulk micromachining）的起始點(diǎn)；而直至1974年，美國(guó)國(guó)家半導(dǎo)體公司才推出優(yōu)化過(guò)的壓力傳感器，開(kāi)始批量生產(chǎn)，前后歷經(jīng)12年的時(shí)間跨度。

目前，國(guó)內(nèi)MEMS工藝平臺(tái)承載有限，增強(qiáng)平臺(tái)建設(shè)是目前產(chǎn)業(yè)界迫切需要解決的首要問(wèn) 題。雖然中科院微系統(tǒng)所、中電科技集團(tuán)第十三研究所等科研機(jī)構(gòu)建有MEMS工藝平臺(tái)，但隨著MEMS產(chǎn)業(yè)進(jìn)入新的發(fā)展階段，軍工、科研系統(tǒng)產(chǎn)品逐漸穩(wěn)定， 批量化的生產(chǎn)使產(chǎn)線的運(yùn)行處于相對(duì)飽和，而高等院校在產(chǎn)線的管理和利用方面存在天然瓶頸。同時(shí)，作為產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新主體的企業(yè)，面對(duì)龐大的前期研發(fā)費(fèi)用，和行業(yè) 普遍存在的人才缺口，在MEMS產(chǎn)業(yè)化道路上舉步維艱。因此，MEMS工藝平臺(tái)需要承擔(dān)起培育產(chǎn)業(yè)、培養(yǎng)人才、支持創(chuàng)新的責(zé)任，為廣大企業(yè)服務(wù)。

建設(shè)MEMS工藝平臺(tái)應(yīng)充分考慮資金的投入產(chǎn)出比，以相對(duì)經(jīng)濟(jì)的方式購(gòu)買(mǎi)先進(jìn)設(shè)備，為有 潛力的企業(yè)提供產(chǎn)業(yè)化前期的研發(fā)服務(wù)。MEMS工藝平臺(tái)應(yīng)具有開(kāi)放性，廣泛服務(wù)致力于MEMS產(chǎn)業(yè)化的各類(lèi)企業(yè)：其一為中小型設(shè)計(jì)公司，一般由海外歸國(guó)人 員創(chuàng)辦，技術(shù)基礎(chǔ)較好但需要國(guó)內(nèi)提供相對(duì)完善的流片服務(wù)，以便以較低的成本打開(kāi)市場(chǎng)；其二為具有雄厚實(shí)力的大型公司，一般從事綜合性業(yè)務(wù)或供應(yīng)整機(jī)，出于 垂直整合的需要向產(chǎn)業(yè)鏈上游拓展，力求掌握更多的核心技術(shù)來(lái)控制成本，在研制MEMS產(chǎn)品初期需要政府提供工藝平臺(tái)調(diào)試產(chǎn)品。

借助MEMS公共服務(wù)平臺(tái)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，不能“重建設(shè)、輕運(yùn)營(yíng)”。MEMS公共服務(wù)平臺(tái) 的主要作用是支持企業(yè)研發(fā)，平臺(tái)的運(yùn)營(yíng)涉及多個(gè)利益相關(guān)者的切身利益，因此管理機(jī)制非常關(guān)鍵，決定了平臺(tái)運(yùn)營(yíng)效率和對(duì)產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)作用。首先，平臺(tái)運(yùn)營(yíng)需要 在法律和制度的保障下進(jìn)行，尊重、保護(hù)企業(yè)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)和商業(yè)利益，按照成熟市場(chǎng)的商業(yè)規(guī)則規(guī)范地運(yùn)行。其次，平臺(tái)運(yùn)營(yíng)需要充分進(jìn)行市場(chǎng)開(kāi)拓，以貼補(bǔ)產(chǎn)線運(yùn) 營(yíng)所產(chǎn)生的大量費(fèi)用，維持基本的盈虧平衡。最后，平臺(tái)運(yùn)營(yíng)要真正做到開(kāi)放性，包括所有設(shè)備資源、研究場(chǎng)地、技術(shù)支持等，通過(guò)申請(qǐng)的研究所、高校和企業(yè)均享 有平等的機(jī)會(huì)從事科研和產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)。