2013年1月舉行的MEMS國際學會“IEEE MEMS 2013”上，有可在真空封裝內(nèi)高精度運行的三軸加速度傳感器的相關(guān)發(fā)布（論文序號：3A-2）。與角速度傳感器（陀螺儀）集成在一枚芯片上，易于收納在一個封裝內(nèi)。一般而言，大多數(shù)加速度傳感器要在大氣壓或以上水平，角速度傳感器要在接近真空的氣壓下方可穩(wěn)定且高精度工作。因此，將這兩個傳感器集成在同一封裝并維持高精度和穩(wěn)定性是很難的。

       此次的加速度傳感器在一枚芯片上形成了檢測加速度用的三個軸的重錘，重錘的動作由其與周圍電極的間隙位移而導致的靜電容量變化（因）來檢測。特點是可使用元件層厚度為40μm的SOI晶圓，同時間隙縮小到了300nm。而據(jù)稱，目前用于此目的的間隙多為1μ～5μm。

   
三軸加速度傳感器的構(gòu)造（美國佐治亞理工學院和美國Qualtré公司的數(shù)據(jù)）。（點擊放大）  

  三軸加速度傳感器的截面示意圖（美國佐治亞理工學院和美國Qualtré公司的數(shù)據(jù)）。（點擊放大）

       因選擇了如此狹窄的間隙，加速度傳感器即便在接近真空的環(huán)境下也可穩(wěn)定工作。而一般加速度傳感器的重錘要在受到加速度時動作，其在要復位時會振動。為將該振動控制在短時間內(nèi)而利用了空氣粘性。此次有別于電容器的靜電容量檢測，設(shè)置了旨在施加可抑制振動電壓的衰減電極，因此不靠空氣粘性就可使振動衰減。據(jù)稱，電極上施加的可致足夠衰減的電壓，取決于間隙的大小。減小間隙便可用低電壓獲得足夠的衰減，就能維持此次這樣的微小構(gòu)造。（記者：三宅 常之，Tech-On?。?br>