互補式金屬氧化物半導體制程的微機電系統(tǒng)(CMOS MEMS)因能整合多元化功能，故掀起市場熱潮，國內(nèi)不僅臺積電、聯(lián)電兩大半導體龍頭競相投入研發(fā)，不少晶圓代工、MEMS廠商也對此市場亦躍躍欲試，日前，矽創(chuàng)電子即證實將與臺灣晶圓代工至封裝、測試業(yè)者合作，并于2011年推出首款CMOS MEMS加速度計。  

矽創(chuàng)電子創(chuàng)新感測事業(yè)處處長翁煥翔指出，矽創(chuàng)電子憑藉過去IC設計的基礎，花費約1年的時間開發(fā)出CMOS MEMS產(chǎn)品。
矽創(chuàng)電子創(chuàng)新感測事業(yè)處處長翁煥翔透露，矽創(chuàng)已與國內(nèi)晶圓代工、封裝及測試廠商結盟，預計于2011年發(fā)表首款CMOS MEMS產(chǎn)品--三軸加速度計，而因陀螺儀技術難度偏高，預定2012～2013年才會推出CMOS MEMS三軸陀螺儀。  

相較于傳統(tǒng)雙晶片MEMS方案，CMOS MEMS系將MEMS與特定應用積體電路(ASIC)整合在單一晶片，除可節(jié)省制造成本，且具備整合多樣性功能的優(yōu)勢。翁煥翔強調(diào)，臺灣晶片商憑藉 ASIC設計與制造成本長才，若臺灣CMOS MEMS供應鏈順利成形，將對國外整合元件制造商(IDM)構成不小的威脅。不過，現(xiàn)階段臺商須克服CMOS MEMS良率較低的難題。  

瞄準CMOS MEMS后勢潛力，臺灣排名前十大IC設計公司的矽創(chuàng)電子，藉由過去IC設計的豐富經(jīng)驗，以及成本和通路競爭力，積極搶進CMOS MEMS市場。翁煥翔認為，未來CMOS MEMS產(chǎn)業(yè)將由晶圓代工廠主導，但即便CMOS MEMS發(fā)展成功，基于傳統(tǒng)MEMS成本雖高但良率也較高的考量，CMOS MEMS和傳統(tǒng)MEMS市場主流之爭仍難分高下。