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Toppan與IBM光罩技術(shù)合作將延伸至14奈米制程

時間：2011-01-19 05:34:00
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[導(dǎo)讀]日本光罩設(shè)備業(yè)者 Toppan Printing宣布已經(jīng)與IBM針對先進的光罩(photomask)技術(shù)，延伸雙方的合作研發(fā)協(xié)議至 14奈米邏輯制程；兩家公司將在該制程節(jié)點延伸使用193奈米浸潤式微影(immersion lithography)技術(shù)。據(jù)了解，

日本光罩設(shè)備業(yè)者 Toppan Printing宣布已經(jīng)與IBM針對先進的光罩(photomask)技術(shù)，延伸雙方的合作研發(fā)協(xié)議至 14奈米邏輯制程；兩家公司將在該制程節(jié)點延伸使用193奈米浸潤式微影(immersion lithography)技術(shù)。

據(jù)了解，IBM與 Toppan 的合作研發(fā)工作，將分別在IBM位于美國、以及 Toppan 的日本光罩廠進行，時間由2011年1月至2012年。Toppan表示，支援包括超紫外光微影(EUV)在內(nèi)的新一代微影解決方案，是該公司的使命；因為IBM在主流的ArF浸潤式微影技術(shù)方面有成功的開發(fā)經(jīng)驗，該技術(shù)也有潛力延伸至14奈米制程，雙方?jīng)Q定要針對此技術(shù)進行合作研發(fā)。

Toppon補充，14奈米邏輯制程可能會是只采用光學(xué)微影技術(shù)進行生產(chǎn)的最后一個節(jié)點，也可能會是轉(zhuǎn)進EUV的開端；在193奈米微影技術(shù)達到極限之后，未來的制程節(jié)點預(yù)期將會采用EUV微影。

IBM與Toppan的合作始于2005年的45奈米光罩制程研發(fā)，并一直陸續(xù)延伸到32奈米、28奈米、22奈米與20奈米節(jié)點；雙方所共同開發(fā)的光罩技術(shù)，主要是支援IBM與其晶圓廠伙伴在美國所進行的先進晶圓制程研發(fā)。

編譯： Judith Cheng

(參考原文： IBM,Toppan extend litho for 14-nm，by Mark LaPedus)



來源：互聯(lián)網(wǎng)臺灣

作者：zhaobin

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