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[導(dǎo)讀]前不久,Intel、美光合資閃存制造企業(yè) IMFlashTechnologies,LLC(IMFT)宣布已經(jīng)開始試制25bn工藝NAND閃存芯片。除了紙面宣布外,他們實際上還邀請了多家媒體到IMFT位于美國猶他州Lehi的25nm工藝晶圓廠進(jìn)行參觀。



前不久,Intel、美光合資閃存制造企業(yè) IMFlashTechnologies,LLC(IMFT)宣布已經(jīng)開始試制25bn工藝NAND閃存芯片。除了紙面宣布外,他們實際上還邀請了多家媒體到IMFT位于美國猶他州Lehi的25nm工藝晶圓廠進(jìn)行參觀。


位于雪山腳下的IMFT工廠


工廠結(jié)構(gòu)圖

工廠結(jié)構(gòu),制造半導(dǎo)體產(chǎn)品最關(guān)鍵的無塵室位于第三層,加壓吊頂形成由上向下的氣流,設(shè)備維護(hù)工作則在二層的SubFab層完成。


進(jìn)入工廠的準(zhǔn)備工作

進(jìn)入無塵室之前的打包過程。(由于無塵室內(nèi)部的嚴(yán)格要求,實際上以下內(nèi)部照片均來自IMFT官方)


無塵工廠內(nèi)部

晶圓廠內(nèi)走廊,頂端的自動運輸系統(tǒng)(AMHS)正在以每小時13公里的速度將晶圓在各個制造環(huán)節(jié)間運輸,24小時不停歇。每個運載器都搭載了一個FOUP(前端開口片盒),其中可裝載最多25片300mm晶圓

廠內(nèi)地面全部打孔,保證空氣從上向下流通,將落塵可能減到最小。


FOUP片盒掛接在一個制造階段設(shè)備上,后面的那個正在被AMHS吊起。





幾乎所有制造過程均為自動完成,因此廠內(nèi)大部分工人的工作就是保證這些設(shè)備正常運行。



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