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[導讀]Cadence 設計系統(tǒng)公司日前宣布,中芯國際集成電路制造有限公司(以下簡稱“中芯國際”)采用了 Cadence(R) Litho Physical Analyzer 與 Cadence Litho Electrical Analyzer,從而能夠更準確地預測壓力和光刻差異對65

Cadence 設計系統(tǒng)公司日前宣布,中芯國際集成電路制造有限公司(以下簡稱“中芯國際”)采用了 Cadence(R) Litho Physical Analyzer 與 Cadence Litho Electrical Analyzer,從而能夠更準確地預測壓力和光刻差異對65和45納米半導體設計性能的影響。

此前單個單元和庫的電氣行為可在一個單獨的環(huán)境中進行預先標示,該單獨環(huán)境在給定的、基于目標制程技術的設計中使用時可保持一致性。在65及更小納米,單元的每次放置都產生了自己的一套物理和電氣差異,這些差異與鄰近的單元或環(huán)境有關。這種“與環(huán)境有關的差異”已成為關鍵的問題,可導致芯片設計失敗。Cadence Encounter(R) Digital Implementation System (EDI) 無縫地整合了 Litho Physical Analyzer 與 Litho Electrical Analyzer,可在全芯片實現(xiàn)之前進行嚴苛的、與環(huán)境有關的單元物理與電氣簽收。該流程利用了模型化的物理與電氣可制造性 (DFM) 技術,可提高標準單元庫、知識產權 (IP) 核、及全芯片的品質和可靠性,從而提高完整芯片的制造成品率。

“在65和45納米上必須解決物理和電氣差異,這需要一種整體性的方法,它要始于單元級別,并考慮到設計的整個環(huán)境,”中芯國際設計服務中心副總裁劉明剛表示,”通過 Cadence 的 DFM 流程,我們能夠分析單元和 IP 差異,并能對它們在真實硅片中的性能進行精確建模。 通過標示和減少差異,我們的客戶將能減少防護帶并制出更高品質的硅片。該解決方案還能實現(xiàn)近線性可擴展性,而這對于全芯片電氣 DFM 驗證流程來說是必需的。

Cadence 已開發(fā)出業(yè)界最完整的設計側 DFM 預防、分析和簽收方法學之一,并包括 Encounter Digital Implementation System 設計側優(yōu)化。它也被用于32和28納米庫的差異建模?!翱焖?、精確、與環(huán)境有關的單元光刻與壓力效應差異建模,對實現(xiàn)65納米及以下節(jié)點實現(xiàn)有價值生產設計非常關鍵,”Cadence 實現(xiàn)集團研發(fā)副總裁徐季平表示。“眾多一次硅片成功已證明了高容量半導體設計 DFM 分析工具的價值?!?/p>

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