02專項的實施使我國與國外發(fā)達國家和地區(qū)在相同領域的技術差距縮短至1.5個技術代，為我國在國際競爭中贏得了更多話語權。
長期以來，我國集成電路行業(yè)從制造工藝到裝備，再到材料都嚴重依賴進口，每年高達千億美元的進口額，使其成為我國最大宗的進口物資。為扭轉這一局面，國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》(以下簡稱02專項)應運而生。經(jīng)過這幾年的發(fā)展，在推動半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展、特別是促進中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈形成過程中也發(fā)揮巨大的催化作用。
共同提升產(chǎn)業(yè)鏈價值
02專項采取了“大兵團”作戰(zhàn)的思路，從整體布局考慮全面支持上下游企業(yè)，在相關產(chǎn)業(yè)鏈上由100多家企業(yè)、研究單位一起參與，形成了上下齊心共同打造產(chǎn)業(yè)鏈的合作產(chǎn)業(yè)氛圍。并且國家科技02專項將產(chǎn)業(yè)化作為目標，明確企業(yè)成為創(chuàng)新主體，這是我國科技項目主體的突破。
中芯國際就是典型例子。作為集成電路制造龍頭企業(yè)，這幾年來，在技術創(chuàng)新以及產(chǎn)業(yè)化方面取得了突出的成績。中芯國際高級技術總監(jiān)吳漢明博士表示，在技術方面，主要是實現(xiàn)了生產(chǎn)技術節(jié)點從90納米到45納米/40納米工藝的突破，同時成功解決了32納米/28納米技術代的關鍵技術，例如多重曝光工藝和高K金屬柵工藝技術，掌握了32納米CMOS器件的核心工藝技術模塊及相關的集成工藝技術，為32納米成套工藝研發(fā)奠定了很好的基礎。在成果產(chǎn)業(yè)化方面，中芯國際自從2009年第三季度開始規(guī)模生產(chǎn)和銷售65納米/55納米產(chǎn)品，現(xiàn)在，該技術產(chǎn)品已占到公司總銷售收入的1/3。
在國家02專項的支持下，中國的設備及材料企業(yè)正在產(chǎn)業(yè)鏈中發(fā)揮著越來越重要的作用。“通過實施國家02專項，國內(nèi)設備業(yè)的研發(fā)能力和產(chǎn)業(yè)化能力有了很大的提升，在部分關鍵設備領域已經(jīng)實現(xiàn)突破，并打破了海外巨頭的壟斷，進入國際市場。包括中微在內(nèi)的多家芯片設備公司的高端產(chǎn)品已經(jīng)在海內(nèi)外高端芯片生產(chǎn)線上運行并開始批量生產(chǎn)40納米及更先進工藝的芯片。”中微半導體設備(上海)有限公司董事長兼執(zhí)行長尹志堯博士提到，“在02專項的推動和支持下，國內(nèi)已開發(fā)了十多種半導體設備和材料，多數(shù)已在國內(nèi)芯片生產(chǎn)線試運，并不同程度上取得了良好結果。”
仍需加快攻關
02專項的這些成果，使我國與國外發(fā)達國家和地區(qū)在相同領域的技術差距縮短至1.5個技術代，為我國在國際競爭中贏得了更多話語權。但IC工藝技術節(jié)點的不斷進步，對工藝、設備和材料的要求不斷走高，仍需業(yè)界直面差距。
吳漢明指出，在集成電路產(chǎn)業(yè)方面，公認的事實是“規(guī)模決定”。國內(nèi)的代工企業(yè)要加大產(chǎn)業(yè)規(guī)模投資，同時，充分利用各種研發(fā)經(jīng)費和具有人才優(yōu)勢的高校和研究所，加強產(chǎn)學研合作技術研發(fā)，尤其是在向主流技術方向的追趕上，更是刻不容緩。吳漢明進一步指出，在研發(fā)中要以工藝技術為先導，只有在工藝技術成果上，設備和材料的技術才能得到實質性的發(fā)展。
而國內(nèi)設備企業(yè)在02專項的支持下，雖已取得不錯的成績，但與國際先進設備廠商相比還有一定的差距。尹志堯提到：“我國的部分設備企業(yè)在進行產(chǎn)品開發(fā)時，較注重設備產(chǎn)品在芯片加工中是否達到先進的工藝指標，而對產(chǎn)品在客戶芯片生產(chǎn)線上運轉的可靠性、重復性和穩(wěn)定性做得不夠，雖然多數(shù)情況加工個別芯片結果的精確性能夠達到客戶要求指標，但不同反應腔之間加工芯片的同一性、加工芯片結果的重復性以及設備在大生產(chǎn)線上的可靠性等方面，較難達到客戶要求。同時，國內(nèi)設備產(chǎn)業(yè)由于起步較晚，在開發(fā)芯片生產(chǎn)線上用的可靠好用的設備方面經(jīng)驗不足。此外，國內(nèi)設備產(chǎn)品的毛利率普遍偏低，這也是公司持續(xù)發(fā)展必須考慮的問題。”
IC工藝技術節(jié)點的不斷進步，使得IC化學品顯得更為重要。安徽微電子(上海)有限公司首席執(zhí)行官王淑敏也提到，新技術節(jié)點和新應用對IC化學品提出更高的要求，主要體現(xiàn)在：一方面，對IC材料的種類需求越來越多，對于研發(fā)實力的要求也提出更高的要求，需要研發(fā)更多的材料來滿足技術發(fā)展的需要。另一方面，對于材料的穩(wěn)定性和生產(chǎn)中技術質量控制要求也要大大提升。
希望政策更加細化
半導體是一個技術引領的產(chǎn)業(yè)，未來的發(fā)展對產(chǎn)業(yè)鏈中各個企業(yè)都提出了更高的要求，因此需要整個產(chǎn)業(yè)鏈所有企業(yè)配合并協(xié)調(diào)發(fā)展，需要上下游企業(yè)形成聯(lián)動機制。吳漢明表示，半導體是技術引領的產(chǎn)業(yè)，未來發(fā)展對產(chǎn)業(yè)中各企業(yè)提出更高的要求，因此需要整個產(chǎn)業(yè)鏈所有企業(yè)配合并協(xié)調(diào)發(fā)展，需要上下游企業(yè)形成聯(lián)動機制。如果政府從中進行協(xié)調(diào)，則在合理分配市場以及資金資源方面可更加理想。
對于今后如何進一步推進國內(nèi)IC材料的發(fā)展，王淑敏提出以下建議：一方面，從國家扶持政策而言，由于高端IC材料門檻要求高，國內(nèi)的起步晚，需要資金、稅收等支持，并出臺加快上下游產(chǎn)業(yè)合作的政策及相關平臺，以實現(xiàn)IC材料更好更快地發(fā)展。另一方面，產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)更緊密的相互合作和扶持、資源和平臺共享，是實現(xiàn)IC材料健康快速發(fā)展的重要工作。
而設備業(yè)與設計業(yè)的發(fā)展是相輔相成的。尹志堯提到，在國內(nèi)眾多公司還不具備全球化市場能力情況下，需要加大力度發(fā)展國內(nèi)芯片生產(chǎn)市場，才能保證國內(nèi)裝備企業(yè)的生存和后續(xù)發(fā)展。針對國內(nèi)的芯片生產(chǎn)商，希望政府能夠協(xié)調(diào)建議，在采購設備時優(yōu)先采購國產(chǎn)設備，并給予一定的鼓勵措施。
“考慮到半導體裝備產(chǎn)業(yè)在提升國家綜合國力上的重要地位，建議02專項采取重點突破的方式幫助國內(nèi)半導體設備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。對包括刻蝕機、光刻機在內(nèi)的關鍵制造設備，作為重點攻關突破對象，加大投入力度。在關鍵領域的突破成功，能夠扭轉我國半導體設備制造業(yè)的落后局面，能確保我國半導體設備產(chǎn)業(yè)持續(xù)良性發(fā)展。”尹志堯表示。
業(yè)界觀點
中芯國際高級技術總監(jiān)吳漢明博士
要有與國際同業(yè)相同的競爭環(huán)境
半導體是一個高度國際性的產(chǎn)業(yè)，可以說每一家半導體企業(yè)都處于國際化的競爭之中。對于國內(nèi)的IC企業(yè)而言，有一個與國際同業(yè)相同的競爭環(huán)境非常重要，比如運營成本、研發(fā)成本等不能高于國際同業(yè)，也就是說資源成本、同樣品質的人力成本、稅負等等多種成本因素要有優(yōu)勢。目前還需要有更多更具體的政策來支持企業(yè)發(fā)展。[!--empirenews.page--]
在關注集成電路產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展中，國產(chǎn)化是方向更是理念，要大力扶持國內(nèi)設計公司，用政策引導他們在國內(nèi)制造芯片，同時也要引導國產(chǎn)設備和材料的采用。但市場是基礎，一定要有龐大的設計業(yè)和流片需求，這樣中國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈才能持續(xù)發(fā)展。
安集微電子(上海)有限公司首席執(zhí)行官王淑敏
進一步扶持關鍵IC材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
02專項的實施對我國半導體產(chǎn)業(yè)升級起到至關重要的作用。但由于我國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和世界領先的技術水平還有一定的差距，很多高端的IC技術還處在前期發(fā)展階段，單靠企業(yè)自身力量短期內(nèi)很難實現(xiàn)飛躍式發(fā)展，需要國家持續(xù)地支持和企業(yè)自身的決心。
從國家層面的政策而言，關鍵是需要重點扶持那些國外有技術壁壘或國外壟斷而發(fā)展必不可少的IC材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。在政策執(zhí)行上，針對有能力、有潛力做大做強的企業(yè)進行重點扶持，培養(yǎng)一批有代表性的企業(yè)，為中國在該領域贏得一席之地。
中微半導體設備(上海)有限公司董事長兼執(zhí)行長尹志堯
開發(fā)出生產(chǎn)線上真正能使用的設備
半導體技術是迄今為止人類開發(fā)的最復雜的工藝技術。國際上正在進入生產(chǎn)線的20納米芯片。這些技術工藝的進步，越來越依賴于高端設備。
在這種情況下，我們要認識到，開發(fā)半導體芯片生產(chǎn)線上有競爭力的、可靠好用的設備與開發(fā)樣機有很大的區(qū)別。開發(fā)一個可以加工芯片的樣機，只完成了生產(chǎn)設備開發(fā)的20%。只有在設計產(chǎn)品和開發(fā)的初期，充分了解客戶要求，遵循適合設計開發(fā)的準則，才可能開發(fā)出在生產(chǎn)線上真正能使用的設備。此外，也要考慮到，研發(fā)和生產(chǎn)是不能脫節(jié)的。