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半導(dǎo)體制造裝置頂級(jí)廠商應(yīng)用材料在觸摸面板領(lǐng)域發(fā)起攻勢(shì)

時(shí)間：2010-05-13 12:30:00

關(guān)鍵字：觸摸面板半導(dǎo)體制造薄膜顯示器

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[導(dǎo)讀]全球最大的半導(dǎo)體制造裝置廠商，并擁有液晶面板CVD裝置領(lǐng)域最大份額的美國應(yīng)用材料（Applied Materials，AMAT），向觸摸面板用制造裝置領(lǐng)域發(fā)起了攻勢(shì)。該公司在4月15日面向新聞媒體舉行的產(chǎn)品說明會(huì)上，介紹了兩款其

全球最大的半導(dǎo)體制造裝置廠商，并擁有液晶面板CVD裝置領(lǐng)域最大份額的美國應(yīng)用材料（Applied Materials，AMAT），向觸摸面板用制造裝置領(lǐng)域發(fā)起了攻勢(shì)。該公司在4月15日面向新聞媒體舉行的產(chǎn)品說明會(huì)上，介紹了兩款其傾力制造的觸摸面板用成膜裝置等，表現(xiàn)出其對(duì)觸摸面板市場(chǎng)增長(zhǎng)的期待以及擴(kuò)大裝置業(yè)務(wù)的熱情。

該公司顯示器及玻璃產(chǎn)品部門（Display and Glass Products Group）副總裁兼總經(jīng)理Jim Scholhamer表示，“觸摸面板市場(chǎng)在飛速發(fā)展，將成為FPD制造裝置市場(chǎng)增長(zhǎng)的關(guān)鍵推動(dòng)力”。該公司迄今為止已供貨了5000萬美元的觸摸面板用成膜裝置，而預(yù)計(jì)2～3年后市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到每年2億美元以上。

作為觸摸面板用ITO（Indium Tin Ooxide）成膜裝置，應(yīng)用材料一直在銷售（1）適用于玻璃底板的縱向在線式濺射裝置“New Aristo”，和（2）支持薄膜底板的卷對(duì)卷式濺射裝置“SmartWeb”。

（1）的玻璃底板濺射，多被用作了液晶面板部材——彩色濾光片用ITO成膜裝置。該公司AKT顯示器部門（Display Group）的濺射產(chǎn)品（Sputter Products）負(fù)責(zé)人Uwe Muhlfeld表示：“以彩色濾光片用途為中心，本公司已經(jīng)向全球提供了162臺(tái)裝置，其中的一部分用于觸摸面板”。不僅是ITO膜，觸摸面板需要的SiO2膜和金屬膜也可連續(xù)成膜。適用的玻璃底板尺寸，觸摸面板的第四代（底板尺寸為730mm×920mm）是最大的，但瞄準(zhǔn)今后不僅是手機(jī)，筆記本電腦也將使用觸摸面板這一趨勢(shì)，將在2011年中期使其適用于第六代玻璃底板（底板尺寸為1500mm×1850mm）。

（2）的薄膜底板濺射，是預(yù)料到觸摸面板底板的薄膜化、觸摸面板的進(jìn)一步大型化及低成本化而開發(fā)的裝置。還可用于制造太陽能電池和采用薄膜底板的可彎曲顯示器。迄今供貨了30臺(tái)左右。美國應(yīng)用材料稱，其在卷對(duì)卷技術(shù)方面，以食品包裝薄膜的制造為代表，擁有歷經(jīng)50年積累的悠久歷史。雖然在電子技術(shù)領(lǐng)域的成果還不多，但該公司能源及環(huán)境解決方案（Energy＆Environmental Solutions）部門的Web Coating Products負(fù)責(zé)人John D. Busch充滿信心地表示：“此后有望實(shí)現(xiàn)大幅增長(zhǎng)”。此次的濺射裝置，每臺(tái)可最多安裝12個(gè)陰極（Cathode）。薄膜底板的寬度最大可支持1400mm。（記者：田中直樹）

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