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半導體制造裝置廠商進軍觸摸面板領域

時間：2010-07-30 21:50:00

關鍵字：觸摸面板半導體制造薄膜顯示器

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[導讀]北京時間04月22日消息，中國觸摸屏網(wǎng)訊，全球最大的半導體制造裝置廠商，并擁有液晶面板CVD裝置領域最大份額的美國應用材料（Applied Materials，AMAT），向觸摸面板用制造裝置領域發(fā)起了攻勢。該公司在4月15日面向新

北京時間04月22日消息，中國觸摸屏網(wǎng)訊，全球最大的半導體制造裝置廠商，并擁有液晶面板CVD裝置領域最大份額的美國應用材料（Applied Materials，AMAT），向觸摸面板用制造裝置領域發(fā)起了攻勢。該公司在4月15日面向新聞媒體舉行的產(chǎn)品說明會上，介紹了兩款其傾力制造的觸摸面板用成膜裝置等，表現(xiàn)出其對觸摸面板市場增長的期待以及擴大裝置業(yè)務的熱情。

圖示:支持玻璃底板的縱向在線式濺射裝置“New Aristo”

該公司顯示器及玻璃產(chǎn)品部門（Display and Glass Products Group）副總裁兼總經(jīng)理Jim Scholhamer表示，“觸摸面板市場在飛速發(fā)展，將成為FPD制造裝置市場增長的關鍵推動力”。該公司迄今為止已供貨了5000萬美元的觸摸面板用成膜裝置，而預計2～3年后市場規(guī)模將達到每年2億美元以上。

圖示:支持薄膜底板的卷對卷式濺射裝置“SmartWeb”

作為觸摸面板用ITO（Indium Tin Ooxide）成膜裝置，應用材料一直在銷售（1）適用于玻璃底板的縱向在線式濺射裝置“New Aristo”，和（2）支持薄膜底板的卷對卷式濺射裝置“SmartWeb”。

（1）的玻璃底板濺射，多被用作了液晶面板部材——彩色濾光片用ITO成膜裝置（參閱本站報道）。該公司AKT顯示器部門（Display Group）的濺射產(chǎn)品（Sputter Products）負責人Uwe Muhlfeld表示：“以彩色濾光片用途為中心，本公司已經(jīng)向全球提供了162臺裝置，其中的一部分用于觸摸面板”。不僅是ITO膜，觸摸面板需要的 SiO2膜和金屬膜也可連續(xù)成膜。適用的玻璃底板尺寸，觸摸面板的第四代（底板尺寸為730mm×920mm）是最大的，但瞄準今后不僅是手機，筆記本電腦也將使用觸摸面板這一趨勢，將在2011年中期使其適用于第六代玻璃底板（底板尺寸為1500mm×1850mm）。

（2）的薄膜底板濺射，是預料到觸摸面板底板的薄膜化、觸摸面板的進一步大型化及低成本化而開發(fā)的裝置。還可用于制造太陽能電池和采用薄膜底板的可彎曲顯示器。迄今供貨了30臺左右。美國應用材料稱，其在卷對卷技術方面，以食品包裝薄膜的制造為代表，擁有歷經(jīng)50年積累的悠久歷史。雖然在電子技術領域的成果還不多，但該公司能源及環(huán)境解決方案（Energy＆Environmental Solutions）部門的Web Coating Products負責人John D. Busch充滿信心地表示：“此后有望實現(xiàn)大幅增長”。此次的濺射裝置，每臺可最多安裝12個陰極（Cathode）。薄膜底板的寬度最大可支持 1400mm。