近日，中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱「中微」)將正式發(fā)布多反應器金屬有機化合物氣相沉積設備(MOCVD)，并首次進入半導體照明市場。目前，中微已有 MOCVD 設備在國內(nèi)一家著名的 LED 廠家運行。

中微MOCVD可以容納多達4個反應器，每個反應器都可以獨立控制。并且可以以并行或者串行模式運行，這就減少了交叉污染，并且保證了晶體的高質量。在占地面積上也有相當?shù)膬?yōu)勢，它比競爭者的單反應器機臺的占地面積小了近30%，

“進入半導體照明市場是公司發(fā)展策略中的一個重要組成部分，”中微資深副總裁兼 MOCVD 產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士說，“我們專業(yè)的 MOCVD 技術團隊建立了一個優(yōu)勢明顯、極具靈活性的 MOCVD 平臺，它具有其獨特創(chuàng)新性，可以解決復雜技術和生產(chǎn)方面帶來的挑戰(zhàn)。能夠為客戶提供高產(chǎn)能低成本的技術，用于他們先進的 LED 器件制造。”目前已擁有100多項專利(包括授權和未授權專利)以保護其獨特的創(chuàng)新性。此外，它還遵循了半導體制造規(guī)則并完全符合 SEMI 標準。

根據(jù)法國某市場研究機構預測，到2017年，MOCVD 設備的市場規(guī)模預計將達到43億美元。中國在全球制造業(yè)中仍將占主導地位。燈泡價格將下跌，LED 照明將取代傳統(tǒng)白熾燈。燈泡變得更便宜，當然就意味著 LED 制造商能獲取的利潤更緊縮，這就使得設備制造商提高生產(chǎn)效率比以往任何時候都顯得尤為重要。