愛思強股份有限公司(AIXTRON SE)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先的沉積系統(tǒng)供應(yīng)商。其已將一個新的研發(fā)用集簇設(shè)備投入運營，該集簇設(shè)備可展示用于生產(chǎn)有機半導(dǎo)體的核心制程。生產(chǎn)有機發(fā)光二極管OLED及柔性電子元件需要進行有機薄膜沉積的各種不同制程，而此集簇設(shè)備將有助于實現(xiàn)工業(yè)制造條件下有效展示有關(guān)生產(chǎn)流程。

該集簇設(shè)備已經(jīng)安裝在AIXTRON愛思強的潔凈室，包括用于在200x200mm2基材有機材料沉積的若干工藝模塊(“Gen1一代”)。該規(guī)格有助于AIXTRON愛思強在成本及布局允許范圍內(nèi)、在元件層面上為潛在客戶展示其沉積技術(shù)的優(yōu)勢。該展示設(shè)備的核心是AIXTRON愛思強的三個OVPD (有機氣相沉積)模組及一個PVPD(聚合物氣相沉積)模組。這些模組嵌在自動化的集簇環(huán)境中，并通過多個處理模塊及有關(guān)基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)進行增補。

負(fù)責(zé)有機半導(dǎo)體部門的進一步拓展的AIXTRON愛思強業(yè)務(wù)發(fā)展總監(jiān)Juergen Kreis解釋道：“我們的研發(fā)用集簇設(shè)備將為工業(yè)客戶及研究伙伴提供在元件層面上全面展示各種制程的集成環(huán)境。完美整合前期及后期生產(chǎn)流程，以及進一步檢測元件的特征值延展性將可快速及全面展示我們的核心技術(shù)有機氣相沉積及PVPD所提供的具體優(yōu)勢?！?/p>

AIXTRON愛思強首席執(zhí)行官Martin Goetzeler表示：“有機半導(dǎo)體對于AIXTRON愛思強具有重大的戰(zhàn)略意義。有機發(fā)光二極管OLED在未來尤其是有潛力被廣泛應(yīng)用于顯示器及一般照明用途。因此，我們已經(jīng)顯著提高對該領(lǐng)域的投資(如對研發(fā)用集簇設(shè)備的投資)并且推進研發(fā)速度。通過這種方式，我們能夠滿足客戶對提高測試及展示可能性的廣泛需求，特別是協(xié)助我們客戶做出未來投資決定。我堅信我們的有機半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)將在未來的市場中扮演關(guān)鍵角色?！?/p>

AIXTRON愛思強專有的有機氣相沉積及PVPD流程技術(shù)能夠以高材料效率及高沉積率生產(chǎn)高質(zhì)量的有機薄膜，用于有機發(fā)光二極管OLED、有機電子產(chǎn)品及其他功能元件。高效率、大規(guī)模生產(chǎn)有機薄膜被視為進一步提高有機發(fā)光二極管OLED市場滲透率的關(guān)鍵。