集成電路產(chǎn)業(yè)是一項高門檻高投入的產(chǎn)業(yè)，不僅體現(xiàn)在IC設(shè)計上，而且也體現(xiàn)在IC的生產(chǎn)設(shè)備上，很多IC生產(chǎn)設(shè)備都把控在國際有限的幾家廠商手中。

最近，記者從中國電科38所獲悉，經(jīng)過多年技術(shù)攻關(guān)，由該所自主研制的全球首臺超級針X 射線成像將在月底開幕第92屆中國(上海)電子展正式發(fā)布。

隨著我國集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，對集成電路封裝檢測裝備需求日益凸顯，而我國此類設(shè)備以中低端產(chǎn)品為主，高端設(shè)備則主要依賴國外進口，嚴重制約了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。目前國際上可生產(chǎn)亞微米級分辨率設(shè)備主要由美國、日本、歐洲等國家地區(qū)的幾家企業(yè)生產(chǎn)。隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用輕元素材料，對設(shè)備應(yīng)用場景要求更加多樣化。更高分辨率、更高對比度、更大檢測范圍的X射線檢測裝備已成為行業(yè)急需。

中國電科38所面向封裝檢測行業(yè)急需，自主研制了國內(nèi)首個具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的高端微焦點X射線成像系統(tǒng)—超級針X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)基本工作原理是通過X射線管產(chǎn)生X射線，利用射線穿過物體過程中吸收和散射衰減性質(zhì)，在圖像增強器上形成被掃描物體的透視圖像。區(qū)別于傳統(tǒng)的 X射線源技術(shù)，該設(shè)備采用國際首創(chuàng)的超級針X射線源，因而以“超級針”冠名。

據(jù)悉，超級針X射線成像系統(tǒng)性能可媲美國際最先進產(chǎn)品，系統(tǒng)分辨率小于1微米，同等分辨率下，對比度是國外產(chǎn)品的3倍以上，成像更清晰，檢測更可靠，使其具有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力，讓缺陷無所遁形。此外，超級針X射線成像系統(tǒng)還具備強大的低能成像能力，使其在輕元素材料精密檢測方面優(yōu)勢突出，遠超國外同類產(chǎn)品，填補國際空白。目前，中國電科38所針對該產(chǎn)品及相關(guān)技術(shù)，已申請20余項國內(nèi)外發(fā)明專利，其中11項已獲得授權(quán)。

中國電科38所相關(guān)負責人表示，超級針X射線成像系統(tǒng)為國際首創(chuàng)，標志我國在此領(lǐng)域已位于世界前列，將有助于提升我國集成電路封裝檢測技術(shù)水平，尤其是在輕元素材料精密檢測方面，具有強大的國際競爭力。

希望，這樣的設(shè)備能盡快投入使用，提升國內(nèi)半導體集成電路生產(chǎn)能力。