21ic訊 安捷倫科技公司日前宣布其 B1500A 半導體器件分析儀——業(yè)界領(lǐng)先的半導體參數(shù)分析儀——增強了源表(SMU)和軟件功能。

全新 B1514A 50-µs 脈沖中等電流 SMU 可在 30V/1A 范圍內(nèi)提供更快速的脈沖，并提供類似于示波器的視圖。全新 B1511B 中等功率 SMU 以較低價格提供 0.1 fA 低電流測量功能，并配有可選的自動傳感和開關(guān)單元。最新版 EasyEXPERT 5.5 軟件使用超過 300 個現(xiàn)成可用的應(yīng)用測試，支持手動操作，無需復雜編程即可實行遠程測試。

安捷倫在八十年代初期推出了業(yè)界首款數(shù)字參數(shù)分析儀，一直以來不斷為客戶提供出色的參數(shù)測試性能與價值。在此基礎(chǔ)上，全新 B1500A 能夠表征 IV(0.1 fA – 1 A/0.5 µV – 200 V)、電容測試(1 kHz – 5 MHz)和低至 ns 級的超快速脈沖/瞬態(tài) IV 測量。

B1500A 半導體器件分析儀的增強功能包括：

使用 B1514A 50 µs 脈沖中等電流 SMU 進行更快速的脈沖測量。增強型分析儀可以執(zhí)行低至 50 µs 的脈沖測量，脈寬范圍是傳統(tǒng) SMU 的 1/10。此外，該儀器還提供廣泛的源范圍(高達 30 V / 1A)和多種功能，以及電壓/電流可編程性。脈沖 IV 測量通常用于表征目前先進的材料和器件。B1514A 通過 EasyEXPERT 示波器視圖監(jiān)測實際電壓和電流波形。借助這個特性，用戶能夠充滿信心地驗證脈沖測量設(shè)置，快速而簡單地優(yōu)化測量參數(shù)。

使用全新 B1511B 中等功率 SMU 與自動傳感和開關(guān)單元，以較低成本進行低至 0.1 fA 的極低電流測量。這將會實現(xiàn)精確的低電流表征(例如漏電流)，從而加快下一代器件的研發(fā)進程。

使用 EasyEXPERT 5.5 輕松完成器件表征。更新后的軟件使用遠程控制功能來執(zhí)行內(nèi)置的應(yīng)用測試，通過圖形用戶界面控制開關(guān)矩陣，并能擴展應(yīng)用程序庫。它還支持 B1514A 50 µs 脈沖中等電流 SMU 的示波器視圖。EasyEXPERT 是一款在 Windows 7 中運行、基于 GUI 的軟件;它提供高效、可重復的器件表征，覆蓋了交互式手動測量和半自動晶圓上測試。

Agilent B1500A 半導體參數(shù)分析儀結(jié)合了全新 B1514A 和 B1511B SMU 模塊以及 EasyEXPERT 軟件，可以構(gòu)成一個全面的器件表征解決方案，該方案具備多種功能、極高的測量可靠性、高效而可重復的測量。它支持所有先進的參數(shù)測試測量，可對器件、材料、半導體、有源/無源器件或任何其它類型的電子器件進行電氣表征和評測。