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MOXA工業(yè)以太網(wǎng)交換機(jī)在制造業(yè)自動(dòng)化行業(yè)中的應(yīng)用———IC制造廠采用Moxa解決方案實(shí)現(xiàn)
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SPC在半導(dǎo)體晶圓制造廠的應(yīng)用（上）
梁德豐，錢省三，梁靜（上海理工大學(xué)工業(yè)工程研究所/微電子發(fā)展中心，上海 200093）摘要：由于半導(dǎo)體制造工藝過(guò)程的復(fù)雜性，一般很難建立其制造模型，不能對(duì)工藝過(guò)程狀態(tài)有效地監(jiān)控，所以迫切需要先進(jìn)的半導(dǎo)體過(guò)程控
