據(jù)有關資料報道,IMEC公司現(xiàn)已開發(fā)出用于圓片級封裝的新技術。這種新技術通過在已制作有圖形的圓片上應用感應膜,使Q因數(shù)達到了30。另外,與Cu布線、A1布線等的后端工藝相適應,對下層布線在性能上據(jù)說是沒有什么影響
摘要:本文論述了圓片級封裝的發(fā)展、優(yōu)勢、種類、應用、研究課題及產業(yè)化注意事項。1 引言現(xiàn)代電子裝置的小型化、輕量化、高性能化、多功能化、低功耗化和低成本化,推動著微電子技術的進步與發(fā)展。IC芯片的特征尺寸
云振新(國營970廠,四川成都610051)摘 要:本文介紹了圓片級封裝的設計考慮、基礎技術、可靠性、應用情況及發(fā)展趨勢。關鍵詞:圓片級封裝;薄膜再分布技術;焊料凸點技術中圖分類號:TN305.94 文獻標識碼:A 1引言現(xiàn)
王水弟,蔡堅,譚智敏,胡濤,郭江華,賈松良(清華大學微電子學研究所,北京 100084)摘要:介紹了電鍍法進行圓片級封裝中金凸點制作的工藝流程,并對影響凸點成型的主要工藝因素進行了研究。凸點下金屬化層(UBM,und